5%sih4+n2
99.9999%
h2=0.1, o2=<0.2, co=<0.1, co2=<0.1, thc=<0.1,h2o=<0.5
48.8
diss632
4.8m3/瓶
高纯硅烷跟高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面跟高纯乙烯一起用于low-e镀膜玻璃的生产
高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源
应用于国防、军事工业的研发、生产
硅烷在平板显示生产中也有重要的用途
用于低温二氧化硅cvd、用于氮化硅cvd
商品详细：
2.1(flammablegas)(可燃性气体)                                   dotlable(dot标签): flammablegas(可燃性气体)
grsde(级别):6n                                                   purity(纯度):99.9999%
impurity(非组分)specification(标准）
oxygen(氧)+argon(氩):≤0.06ppmv                                                                 nitrogen(氮):≤0.5　ppmv
carbondioxide(二氧化碳):≤0.05ppmv                                                        carbonmonoxide(一氧化碳): ≤0.05 ppmv
helium(氦):≤1　 ppmv                                                                                      water(水):≤0.1　ppmv
hydrogen(氢):≤20  ppmv                                                                              disilane(乙硅烷)≤0.5  ppmv
disiloxane(二甲硅醚):≤0.05ppmv                                                               c2-c4(碳2--碳4):≤0.1　ppmv
methane(甲烷): ≤0.05ppmv                                                                             totalchlorosilanes(总氯硅烷)：≤0.1　ppmv

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胡源
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